"Инженерно-физический журнал"
Издается в АНК "Институт тепло- и массообмена им. А.В. Лыкова НАН Беларуси"
Адрес редакции и издателя ИФЖ
УДК 621.382
А. Л. Данилюк
НЕЛИНЕЙНАЯ МОДЕЛЬ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ
ИМПЛАНТИРУЕМЫХ ИОНОВ ПРИ БОЛЬШИХ ДОЗАХ
Получена нелинейная модель распределения имплантированных
ионов при больших дозах с учетом распыления, объемного
роста мишени и торможения на внедренных атомах.
Белорусский государственный университет
информатики и радиоэлектроники,
г. Минск
Как приобрести ИФЖ непосредственно у издателя
Научно-технические и теоретические разработки в области тепло- и
массообмена
(по материалам рекламы в ИФЖ)
IFZH7492019985
IFZH749205