УДК 537.531:621.315.592

В. Ф. Митин , Н. С. Болтовец , 
В. В. Холевчук , Р. В. Конакова

МИНИАТЮРНЫЕ ТЕРМОМЕТРЫ СОПРОТИВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ 
ПЛЕНОК ГЕРМАНИЯ, ПРЕДНАЗНАЧЕННЫЕ ДЛЯ РАБОТЫ В ДИАПАЗОНЕ 
ТЕМПЕРАТУР 0.03-300 К

Разработаны и изготовлены миниатюрные (диаметр 1.2 мм x 1.0 мм) 
термометры сопротивления на основе пленок германия, предназначенные 
для использования в широком диапазоне температур от сверхнизких до комнатных. 
Исследованы характеристики термометров в интервале температур 0.03-300 К. 

Институт физики полупроводников
НАН Украины, г. Киев

IFZH74920200018
IFZH7492018