УДК 537.531:621.315.592 В. Ф. Митин , Н. С. Болтовец , В. В. Холевчук , Р. В. Конакова МИНИАТЮРНЫЕ ТЕРМОМЕТРЫ СОПРОТИВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ ПЛЕНОК ГЕРМАНИЯ, ПРЕДНАЗНАЧЕННЫЕ ДЛЯ РАБОТЫ В ДИАПАЗОНЕ ТЕМПЕРАТУР 0.03-300 К Разработаны и изготовлены миниатюрные (диаметр 1.2 мм x 1.0 мм) термометры сопротивления на основе пленок германия, предназначенные для использования в широком диапазоне температур от сверхнизких до комнатных. Исследованы характеристики термометров в интервале температур 0.03-300 К. Институт физики полупроводников НАН Украины, г. Киев IFZH74920200018 IFZH7492018