УДК 537.534.2;621.384.637

Д. А. Котов, А. П. Достанко

ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ПУЧКА ИОНОВ, ФОРМИРУЕМОГО В СКРЕЩЕННЫХ ЭЛЕКТРИЧЕСКОМ И МАГНИТНОМ ПОЛЯХ
Приведены данные экспериментальных исследований характеристик пучка положительных ионов, сформированного в ионно-плазменной системе с генерацией разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях. Описаны условия формирования разряда и особенности разработанной конфигурации разрядного устройства. Показано, что такие разрядные системы способны формировать широкие пучки низкоэнергетичных ионов и могут быть с успехом применены в различных областях тонкопленочной технологии. Белорусский государственнный университет информатики и радиоэлектроники, г. Минск; э-почта: solarsys@bsuir.unibel.by. Поступила 19.12.2002.