УДК 621.793.1

С. П. Фисенко1), Б. Н. Базылев1), Г. Вюрц2)

ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНОЕ ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК УГЛЕРОДА
В приближении задачи Стефана построена математическая модель роста углеродной пленки при высокотемпературном осаждении. Проанализировано влияние различных факторов на максимально возможную толщину пленки. Показано, что пористость пленки является принципиально важным фактором, который через величину эффективной теплопроводности определяет динамику ее роста. 1)Институт тепло- и массообмена им. А. В. Лыкова НАН Беларуси, г. Минск; э-почта: fsp@hmti.ac.by; 2)IHM, Forschungszentrum Karlsruhe, Germany. Поступила 18.11.2002.