УДК 621.315.592 Б. Б. ХинаМОДЕЛИРОВАНИЕ ДИФФУЗИОННОГО МАССОПЕРЕНОСА ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ПРИМЕСЕЙ В КРЕМНИИ. I. ФОРМУЛИРОВКА МОДЕЛИ
Разработана обобщенная модель диффузионного массопереноса имплантированных атомов примеси (доноров и акцепторов) в кристаллическом кремнии, учитывающая все возможные зарядовые состояния диффундирующих частиц (вакансий, межузельных атомов Si и пар атом примеси-вакансия и атом примеси-межузельный атом кремния) и различие коэффициентов диффузии пар, имеющих разные электрические заряды. Получены выражения для источниковых/стоковых членов, описывающие все парные реакции взаимодействия частиц (генерацию и аннигиляцию) в процессе диффузии с учетом их зарядов. Физико-технический институт НАН Беларуси. 220141, г. Минск, ул. Акад. Купревича, 10; э-почта: khina@tut.by. Поступила 27.11.2006.