УДК 532.594,532.78:537.84

А. И. Феонычев

ИСПОЛЬЗОВАНИЕ СТОЯЧИХ ПОВЕРХНОСТНЫХ ВОЛН И СТАЦИОНАРНОГО МАГНИТНОГО ПОЛЯ ПРИ ВЫРАЩИВАНИИ КРИСТАЛЛОВ МЕТОДОМ ПЛАВАЮЩЕЙ ЗОНЫ В НЕВЕСОМОСТИ
Проведено численное исследование течения и тепломассопереноса при выращивании кристаллов методом плавающей зоны в условиях невесомости с использованием стоячих поверхностных волн, создаваемых приложенной вибрацией, и стационарного осевого магнитного поля. На примере кристаллизации кремния показано, как при выборе оптимальных параметров стоячих поверхностных волн и магнитного поля можно значительно (в несколько раз) снизить микро- и макросегрегацию легирующей примеси фосфора и вырастить кристалл с однородностью, превосходящей лучшие образцы, получаемые на земле методом Чохральского. Государственный научно-исследовательский институт прикладной механики и электродинамики. Россия, г. Москва; э-почта: afeonychev@mail.ru. Поступила 19.04.2006.