УДК 621.793.16+661.66

С. А. Жданок1), И. С. Крылов1), М. А.Силенков2), С. А. Филатов1), С. В. Шушков1)

ОСАЖДЕНИЕ КАТОДНЫХ УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК В ПЛАЗМЕ СЛАБОТОКОВОГО
ГАЗОВОГО РАЗРЯДА ПРИ АТМОСФЕРНОМ ДАВЛЕНИИ

Плазмохимическое осаждение углеродных пленок из смеси углеводородов 
(метан, пропан-бутан) с гелием проводилось в условиях разряда посто-
янного тока при атмосферном давлении на подложки (Ni, Cu),которые 
являлись катодом в процессе разряда. При малых временах осаждения 
наблюдается образование преимущественно разупорядоченных пленок из 
графитовых кристаллитов. С увеличением продолжительности осаждения 
формируется массив углеродных нанотрубок, покрытых структурированным 
углеродом, по краю пленки образуются слои графитированных чешуек.

Ключевые слова: плазмохимическое осаждение, катодное покрытие, 
углеродные наноматериалы, пленки, нанотрубки, графитовые кластеры.

1)Институт тепло- и массообмена им. А. В. Лыкова 
НАН Беларуси. 220072, г. Минск, ул. П. Бровки, 15; э-почта: chouch@itmo.by; 
2)Международный государственный экологический университет 
им. А. Д. Сахарова. 220070. г. Минск, ул. Долгобродская, 23. 
Поступила 28.07.2010.