УДК 537.534.2

В. А. Володин1, А. А. Емельянов2, 
А. К. Ребров2, Н. И. Тимошенко2, И. Б. Юдин2

ОПЫТ ОСАЖДЕНИЯ УГЛЕРОДНЫХ ПОКРЫТИЙ ГАЗОСТРУЙНЫМ МЕТОДОМ
Экспериментально исследовано газоструйное осаждение углеродных и алмазоподобных пленок на подложку при активации газа-предшественника горячей проволочной сеткой. Испытано несколько конструкций проволочного активатора для осаждения пленок из газовой смеси CH4, H2, Ar. Углеродная структура полученных пленок определена по спектрам комбинационного рассеяния cвета. Ключевые слова: газоструйное осаждение, термические активаторы, углеродные пленки, спектры комбинационного рассеяния света. 1Институт физики полупроводников СО РАН. 630090, г. Новосибирск, просп. Лаврентьева,13; 2Институт теплофизики им. С. С. Кутателадзе СО РАН. 630090, г. Новосибирск, просп. Лаврентьева, 1; э-почта: yudinib@gmail.com. Поступила 15.04.2011.