ТОМ 68,   №1

Моделирование диффузии магния в арсениде галлия. 2. Перераспределение ионно-имплантированной примеси


 

Автор:  В. А. Лабунов , О. И. Величко , С. К. Федорук
Стр:  39-43

В. А. Лабунов , О. И. Величко , С. К. Федорук .  Моделирование диффузии магния в арсениде галлия. 2. Перераспределение ионно-имплантированной примеси  // Инженерно-физический журнал. . ТОМ 68, №1. С. 39-43.


Возврат к списку